WIKA威卡超高纯压力传感器HS-BBFAZ0877L1-Z
应用
半导体工业
UHP液体化学品输配系统
功能特性
获得的双膜片设计
接液部件材质为氟烷氧基 (PFA)
即使在安装后也可实现360°旋转
防护等级高达IP 65或IP 67
可选：附着式指示器，参见数据资料PE 82.11
描述
HYDRA-line
型号HYDRA-Sensors
超高纯压力传感器
型号HS
双重安全
系列产品 HYDRA-line系列压力测量仪表是我们和知名半导体企业（威卡客户）联合开发而成。所有该系列产品都满足过程设备和UHP化学品输配系统的特殊应用要求。HYDRA-Sensor压力传感器具有高精度、高可靠性、超洁净的接液部件和表面。此外，所有接液部件的生产、清洁组件的装配、校验和包装均是在100级无尘室中完成的。获得的HYDRA双膜片系统可以安全可靠地将压力传感器与工作介质隔离开。此外，该型号产品还会将HF或HCI蒸汽等扩散介质排到外部环境中，从而可防止造成错误的测量结果或破坏传感器元件。我们不保证市场上销售的产品能够在所有应用中完全隔离化学品。在有些应用中，可能会出现化学品透过膜片扩散的情况。
HS型HYDRA-line压力传感器4 ... 20 mA，2线制以及圆筒形1/2"扩口螺纹过程连接。
HS型HYDRA-line压力传感器4 ... 20 mA，2线制以及死端1/2"扩口螺纹过程连接。
HG型
HD型
规格参数 HS型，HYDRA-Sensor传感器
压力范围 MPa 0 … 0.25 0 … 0.4 0 … 0.6
psi 0 … 30 0 … 60 0 … 100
kPa 0 … 250 0 … 400 0 … 600
传感器过压安全性 MPa 4 1)
过程连接 圆筒形3/8"、½"、¾"、1"和1 ¼"扩口螺纹
死端¼"、3/8"和½"扩口螺纹
死端¼ NPT内螺纹
压力测量设备 压力传感器，详情请参见数据资料PE 81.01
准确度 %量程
材料
接液部件 PFA或TFM（改性PTFE）
其它非接液部件 PVDF、EPDM和FPM/FKM
传感器 不锈钢
系统填充液 KN 75 50/50半导体级IPA（异丙醇/去离子水）混合液
*填充，严禁在现场重新填充
容许温度范围
过程 °C +5 ... +60 (+41 … +140 °F)
环境 °C +5 ... +60 (+41 … +140 °F)
储存 °C -20 ... +60 (-4 … +140 °F)
温度系数 %量程/10K ≤ 0.25 (5 °C … 60 °C)
电气连接 4针L形插头DIN EN 175301-803 A (IP 65) 或
5 m飞线 (IP 67)
防护等级，符合
IEC 60 529 / EN 60 529标准 IP 65或IP 67
1) 受限于过程连接*大压力额定值（参见下图）
压力/ MPa
1/4"和3/8"
1/2"
3/4"
1"
1 1/4"*大温度仅为25°C
使用注意事项：
≤ 0.5
用手即可将变送器转动360°。无需使用工具。
不能拆卸变送器或将中央PVDF螺母从外壳上拧松，否则将导
致充液泄漏并损坏测量设备。
HS型HYDRA-line传感器，死端过程连接
2436439.01
2436502.01
尺寸 (mm)
HS型HYDRA-line传感器，圆筒形扩口过程连接
2332 340.02
过程连接 尺寸 (mm)
H LL1 F B1 B2 Ød2
167 118 127 16 40 62 5.5
167 122 133 16 40 62 5.5
172 122 133 19 40 62 5.5
197 165 179 25 56 78 6.5
197 224 238 25 56 78 6.5
过程连接 尺寸 (mm)
H1 SW1 SW2 Ød2
死端1/4"扩口螺纹
死端3/8"扩口螺纹
死端1/2"扩口螺纹
死端1/4 NPT内螺纹
205 ± 2 27 11/16" 64
205 ± 2 27 15/16" 64
208 ± 2 27 17/16" 64
161 ± 2 27 - 64
圆筒形3/8"扩口螺纹
圆筒形1/2"扩口螺纹
圆筒形3/4"扩口螺纹
圆筒形1"扩口螺纹
圆筒形1 1/4"扩口螺纹
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